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化合物濺射靶材

中諾新材（北京）科技有限公司可以定制加工不同尺寸，不同純度的二元，三元，多元化合物濺射靶材

氧化物靶材Al2O3 MgO Fe2O3 Fe3O4 Ga2O3 Nb2O5 NiO TiO2 ZnO ZrO……

氮化物靶材AlN BN Si3N4 TaN TiN……

碳、硫化物靶材BC SiC WC MoS2 WS2 CdS ZnS Bi2S3 ……

二元化合物靶材ITO AZO TZO GZO IGZO Bi2Se3 Bi2Te3……

多元化合物靶材CIGS PZT BST LSMO……

以上產品純度，99.5-99.99%，可定制不同比例摻雜靶材，可提供圓靶，矩形靶。并且可提供靶材焊接綁定服務

貴金屬靶材尺寸

金、銀、鉑、鈀濺射靶材通過熔煉提純、澆鑄成錠，鍛造軋制和精密機加工制造而成。純度均可達到99.99%，主要應用于電子半導體、太陽能光伏、平面顯示、磁學等行業。

釕、銠、銥濺射靶材采用高純金屬粉末為原料，通過粉末冶金鑄錠，并精密機加工成靶，產品純度可達99.95%。主要應用于電子半導體、磁學等行業。

常規靶材有：

高純金 靶材 99.99%φ50.8mm, φ60mm, φ101.6mm

高純銀 靶材 99.99%φ50.8mm, φ60mm, φ101.6mm

高純鉑 靶材 99.99%φ50.8mm, φ60mm, φ101.6mm

高純鈀 靶材 99.99%φ50.8mm, φ60mm,  φ101.6mm

高純釕 靶材 99.95%φ50.8mm, φ60mm, φ101.6mm

高純銠 靶材 99.95%φ50.8mm, φ60mm,  φ101.6mm

高純銥 靶材 99.95%φ50.8mm, φ60mm,  φ101.6mm

常規厚度1-6mm

可定制加工的圓靶方靶，可提供靶材綁定服務。

氧化鋁 Al2O3 99.99 顆粒 粉末

氧化鎂 MgO 99.99 顆粒 粉末

氧化鈦 TiO TiO2 Ti3O5 99.99 顆粒 粉末 壓片

氧化鉿 HfO2 99.99 顆粒 粉末 壓片

氧化鉭 Ta2O5 99.99 顆粒 粉末 壓片

氧化銦 In2O3 99.99 顆粒 粉末

氧化硅 SiO SiO2 99.99 99.999 顆粒 粉末

氧化鋯 ZrO2 99.99 顆粒 粉末 壓片

氧化鈮 Nb2O5 99.99 顆粒 粉末

氧化鋅 ZnO 99.99 顆粒 粉末 壓片

氟化鎂 MgF2 99.99 顆粒 粉末

氟化鐿 YbF3 99.99 顆粒 壓片

氟化釔 YF3 99.99 顆粒 粉末

硫化鋅 ZnS 99.99 顆粒 粉末 壓片

硒化鋅 ZnSe 99.999 顆粒 粉末

鈦酸鑭 La2O7Ti12 99.99 顆粒

鈦酸鋇 BaTiO3 99.99 顆粒

鈦酸鍶 SrTiO3 99.99 顆粒

冰晶石 Na3AlF6 99.99 顆粒

氧化銦錫 ITO 99.99 顆粒 粉末 壓片