生產(chǎn)鈦靶加工廠規(guī)格齊全可定做高品質(zhì)可信賴謙騰
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寶雞謙騰鈦業(yè)有限公司
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鈦靶材的主要性能
純度
純度是靶材的主要性能指標(biāo)之一,因?yàn)榘胁牡募兌葘Ρ∧さ男阅苡绊懞艽蟆2贿^在實(shí)際應(yīng)用中,對靶材的純度要求也不盡相同。例如,隨著微電子行業(yè)的迅速發(fā)展,硅片尺寸由6”, 8“發(fā)展到12”, 而布線寬度由0.5um減小到0.25um,0.18um甚至0.13um,以前99.995%的靶材純度可以滿足0.35umIC的工藝要求,而制備0.18um線條對靶材純度則要求99.999%甚至99.9999%。
雜質(zhì)含量
靶材固體中的雜質(zhì)和氣孔中的氧氣和水氣是沉積薄膜的主要污染源。不同用途的靶材對不同雜質(zhì)含量的要求也不同。例如,半導(dǎo)體工業(yè)用的純鋁及鋁合金靶材,對堿金屬含量和放射性元素含量都有特殊要求。
密度
為了減少靶材固體中的氣孔,提高濺射薄膜的性能,通常要求靶材具有較高的密度。靶材的密度不僅影響濺射速率,還影響著薄膜的電學(xué)和光學(xué)性能。靶材密度越高,薄膜的性能越好。此外,提高靶材的密度和強(qiáng)度使靶材能更好地承受濺射過程中的熱應(yīng)力。密度也是靶材的關(guān)鍵性能指標(biāo)之一。
晶粒尺寸及晶粒尺寸分布
通常靶材為多晶結(jié)構(gòu),晶粒大小可由微米到毫米量級。對于同一種靶材,晶粒細(xì)小的靶的濺射速率比晶粒粗大的靶的濺射速率快;而晶粒尺寸相差較小(分布均勻)的靶濺射沉積的薄膜的厚度分布更均勻。
寶雞謙騰鈦業(yè)有限公司坐落于有“中國鈦谷”之稱的炎帝之都-寶雞,依托寶雞行業(yè)優(yōu)勢及強(qiáng)大的技術(shù)支撐,是一家以鈦金屬材料、制品、設(shè)備的研發(fā)、加工、銷售為一體的公司。公司主營鈦板、鈦棒、鈦管、鈦絲、鈦網(wǎng)、鈦標(biāo)準(zhǔn)件、鈦法蘭、鈦靶材、鈦鍛件、鈦管件,鈦網(wǎng)籃、鈦管道、鈦銅復(fù)合棒、鈦鋼復(fù)合板、鈦制冷凝器、鈦蛇形管、鈦制蒸發(fā)器、鈦反應(yīng)釜、鈦塔器、鈦攪拌器、鈦板式換熱器、鈦過濾器等,是一家擁有進(jìn)出口資質(zhì)的企業(yè)。
公司產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于航天、航空、石油、化工、化學(xué)、氯堿、電鍍、電力、冶金、制鹽、醫(yī)藥以及船舶、海洋工程、地?zé)峁こ獭h(huán)保等領(lǐng)域,客戶已遍布全國各地。公司本著平等互利,共同發(fā)展,質(zhì)量優(yōu)先,用戶至上的原則,始終秉持優(yōu)質(zhì)優(yōu)價、合作雙贏的經(jīng)營理念,讓每一位客戶從每一件產(chǎn)品中獲得最大的收益是我們謙騰的追求。公司積極開拓海外市場,先后為新加坡和中亞的客戶提供了產(chǎn)品服務(wù),受到了國外客戶的一致好評,我們愿為您提供更優(yōu)質(zhì)的服務(wù),與您攜手并進(jìn),共創(chuàng)輝煌!