高溫真空步進伺服位移臺
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· 行程: 50 to 250mm;
· 分別率:1um/步;
· 無回滯,剛性強;
· 承載能力:20kg;
· 可堆疊 XYZ三軸平臺
· 真空度:1 x 10-10 mBar;
· 烘烤溫度:200°C;
· 交叉滾子軸承;
· 防輻射: 1 x 106 Gy ;
· 可以根據客戶要求定制;
規格 | 單位 | LTVL | LTVH |
行程 | mm | 50/ 100 / 150 /200 /250 | 50/ 100 / 150 /200 /250 |
整步分別率 | μm | 5 | 1 |
速度 | mm/s | 15 | 4 |
推薦真空環境中速度 | mm/s | 2 | 0.8 |
重復定位精度 | μm | 1 | 0.2 |
水平負載能力 | kg | 20 | 20 |
負載力矩 | Nm | <5 | <5 |
軸向力 @ 500Hz Iφ = 1A | kg | 3 | 10 |
間隙 | μm | 0 | 0 |
轉動, 俯仰 & 偏載 (無負載 | μrad | <25 | <25 |
Roll Compliance | μrad/Nm | 33 | 33 |
Pitch & Yaw Compliance | μrad/Nm | 33 | 33 |
直線度 | μm | <1.3μm / 100mm | <1.3μm / 100mm |
使用步進電機 | D35.1 | D35.1 | |
真空度 | mBar | 1 x 10-10 | 1 x 10-10 |
溫度 | °C | 200 | 200 |
MTBF (5kg負載和30%占空比) | hrs | 15,000 | 10,000 |