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THYRACONT VSR53D真空計

VSP63使用給予專利的測量技術。設備來與Thyracont沖動Pirani傳感器，提供一個更大的測定范圍在更加高分辨率。它也提供非常優化溫度補償和準確讀書。它給模式，對數輸出信號VSP63MA4。設備在大小上是高度緊湊的。

當它提供可再生結果，VSP63理想地說適用與工業應用。設備有許多特點例如寬測定范圍和高分辨率在概略的真空內的范圍。當它受金屬屏幕的，保護它的細絲提供好抵抗當談到油和溶解的蒸氣。它提供在零的大氣和壓力的用戶精確按鈕數字調整。它消耗較少力量并且使用沖動方式減少測量的房間的自已熱化。因為它有金屬密封了不銹鋼傳感器，設備對UHV應用是理想的。它可以為應用使用例如分析儀器、衣料工廠、冷凍干燥和凍干法。

典型應用：

·負載制動

·分析儀器

·噴涂廠

·真空爐

·泄漏檢測

·低真空泵的操作控制

·過程工程

·質譜儀器

·真空系統的安全電路

優點：

·傳感器測量范圍廣Pirani/piezo

·精度高，分辨率好

·兩個獨立、浮動電位繼電器開關

·響應時間短

·良好的重復性和長期穩定性

·測量單元體積小，例如VSR53D是2CM3

·金屬密封不銹鋼傳感器，適合超高真空應用

·金屬屏保護燈絲防油、防溶劑蒸汽

·良好的溫度補償確保了測量的穩定性

·傳感器探頭可以更換

·20mbar以上的測量不受氣體類型的影響，Pirani傳感器不同氣體類型的校準因子可調

·LED顯示儀器狀態和開關點

·RS485接口和其它模擬輸出信號1.5-8.58V或EtherCAT

·通過按鍵或接口調整零點和大氣壓

·LCD顯示（VSR53DL，VSR54DL）

·如果出現錯誤，屏幕閃爍紅色，正常工作狀態是綠色（VSR53DL，VSR54DL）

·和PLC連接方便

·數字輸出信號可以遠程傳輸（最遠距離500米)

·波特率9.6kBit/s到115kBit/s

·金屬外殼，結實耐用

·防護等級IP54（VSR53E/VSR54E)

·可以連接Thyracont公司生產的2通道或4通道的顯示器VD12/VD10

·通過不銹鋼小法蘭DN 16 ISO-KF或conflat法蘭DN 16 CF-F真空連接

技術參數

傳感器            Pirani/inverted magnetron（依據氣體不同）

真空接觸材質      不銹鋼1.4307、鎳、金、硅氧化物、鎢、玻璃

測量范圍          1200到1×10-4mbar（900到1×10-4torr），過壓4bar

精度              1200到10mbar:±0.3%滿量程

10到2×10-3mbar:±10%讀數

重復性            ±0.1%滿量程（1200到10mbar）

±2%讀數（10到2×10-3mbar）

響應時間          1200到10mbar：<30ms（piezo）

10到2×10-3mbar：<100ms（pirani）

供電電壓          20到30VDC

電氣連接          VSR53D/DL,VSR54D/DL:SubD,15pol.,male,lockable

VSR53E,VSR54E:M12圓形接頭,female,lockable

1x標準A,5針,2x密碼D,4針

電流              2.5W，同時0.8Wf.EtherCAT/繼電器/LCD

操作溫度          5到60℃（相對濕度80%@30℃，無冷凝）

存儲溫度          -40到65℃

烘烤溫度      法蘭（電氣分離）上的溫度125℃

輸出信號          0到10VDC，測量范圍1.5-8.58VDC，log.，1V/等級

負載電阻>10KΩ(VSR53D/DL,VSR54D/DL)

串行接口          RS485:9.6kBit/s到115kBit/s，開關地址1-16

開關點            2個開關繼電器，50VAC/2A,30VDC/2A,60VA

真空連接          DN 16 ISO-KF（VSR53),DN 16 CF-F（VSR54)

防護等級          IP54（VSR53E,VSR54E),IP40(VSR53D/DL,VSR54D/DL)

重量              220克（VSR53D）

訂貨代碼：

·VSR53D

piezo-Pirani真空計，1200到1×10-4mabr，DN 16 ISO-KF連接，輸出0-10V 和RS485

·VSR53DL

同VSR53D，帶LCD顯示

·VSR53E

同VSR53D，RS485輸出和EtherCAT

·VSR54D

piezo-Pirani真空計，1200到1×10-4mabr，DN 16 CF-F連接，輸出0-10V 和RS485

·VSR54DL

同VSR54D，帶LCD顯示

·VSR54E

同VSR54D，RS485輸出和EtherCAT

配件：

·W1515002

帶VD12和VD10的真空計VSR53D/DL和VSR54D/DL的連接線，線長2米

·W1515006

同W1515002，線長6米

·W1515020

同W1515002，線長20米

·B_VSP53

傳感器探頭，DN 16 f.VSR53

·B_VSP54

傳感器探頭，DN 16 CF-F，f.VSR54