供應AerotechABL系列氣浮平臺
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Aerotech ABL系列氣浮軸承直驅直線運動平臺,擁有超高精度的定位功能,精度在0.2~0.5um之間。
設計特點
專為高性能掃描和檢查而設計
所有空氣軸承表面上的有效空氣預載
線性編碼器反饋提供亞納米分辨率
高剛性,可承受重載,并具有出色的幾何性能
行程達500毫米
前沿制造業,特別是在半導體和數據存儲行業中,要求的定位公差超出了傳統滾珠絲杠和機械軸承定位系統的能力。ABL1500空氣軸承臺具有完全主動的預緊力,極高的剛度和出色的幾何特性,專門為滿足這些需求而設計。
空氣軸承設計,實現高動態性能
ABL1500在垂直和水平表面上均帶有空氣預載功能。相對的薄膜壓力可保持軸承的名義間隙公差。除了大的空氣軸承表面可以將負載分配到較大的表面積上之外,這種設計還可以使平臺具有出色的剛度,非常適合重載或偏載。
專有的制造技術導致了具有無法超越的幾何特征的階段。空氣軸承具有固有的平均效應,可限度地提高性能。薄膜將填充小的表面空隙并允許其他不規則性。此特性可產生出色的螺距,滾動,偏航,直線度和平坦度規格。
直線電機驅動
此階段的驅動力是Aerotech的BLMC系列無刷線性伺服電機。該設計體現了Aerotech作為電機制造商的悠久歷史和經驗。BLMC使用無鐵力,這意味著零齒槽效應和無吸引力,從而實現了無與倫比的運動平穩性。BLMC能夠產生高的力和速度,代表了功率和性能的結合。
零維護
我們的完全非接觸式空氣軸承,非接觸式線性電動機驅動器和非接觸式反饋設備確保了Aerotech設備所期望的高性能水平下的多年免維護運行。由于運動元件之間沒有機械接觸,所以隨著時間的流逝,ABL1500不會遭受磨損或性能下降。使用壽命幾乎是無限的,并且由于沒有潤滑-只有清潔,干燥的氣體-空氣軸承是潔凈室和醫療應用的理想選擇。
電纜管理
我們精心優化電纜彎曲半徑,以確保多年無故障運行。萬一發生故障,Aerotech的模塊化設計使電纜更換變得快速簡便,停機時間最少。我們將所有客戶要求的電纜,空氣軟管等都包含在CMS捆綁包中,以便于集成到最終系統中。兩端完全連接,可輕松集成到客戶的機器中。
技術指標
機械規格
模型 | ABL1500-050 | ABL1500-100 | ABL1500-200 | ||
旅行 | 50毫米 | 100毫米 | 200毫米 | ||
準確性(1) | E1 | 已校準 | ±0.3微米 | ±0.3微米 | ±0.5微米 |
標準 | ±2.0微米 | ±4.0微米 | ±8.0微米 | ||
E3 | 已校準 | ±0.2微米 | ±0.2微米 | ±0.4微米 | |
標準 | ±1.0微米 | ±2.0微米 | ±5.0微米 | ||
重復性 (雙向)(1) | E1 | ±0.1微米 | ±0.2微米 | ||
E3 | ±0.05微米 | ±0.05微米 | ±0.1微米 | ||
直線度(1) | ±0.25微米 | ±0.4微米 | ±0.5微米 | ||
平面度(1) | ±0.25微米 | ±0.4微米 | ±0.5微米 | ||
瀝青 | ±0.5弧秒 | ±1弧秒 | ±2弧秒 | ||
滾 | ±0.5弧秒 | ±1弧秒 | ±2弧秒 | ||
偏航 | ±0.5弧秒 | ±1弧秒 | ±2弧秒 | ||
速度 | 2 m /秒 | ||||
加速度 | 2克(空載) | ||||
力(連續) | 93.6 N | ||||
載重量(2) | 臥式 | 35公斤 | |||
側 | 25公斤 | ||||
運營壓力 | 80 psi±5 psig | ||||
耗氣量 | 24-30 SLPM @ 551 kPa(0.85-1.06 SCFM @ 5.51巴) | ||||
移動質量(空載) | 5.1公斤 | ||||
舞臺質量 | 14.7公斤 | 16.0公斤 | 18.6公斤 | ||
材料 | 鋁 | ||||
MTBF(平均無故障時間) | 30,000小時 |
通過每個階段的認證。
列出了軸上加載的軸方向。
規格適用于在桌面上方25 mm處測量的單軸系統。多軸系統的性能取決于有效載荷和工作點。有關多軸或非標準應用,請咨詢工廠。
為了防止空氣軸承承受負壓,建議在運動控制器/放大器的ESTOP輸入上連接一個在線壓力開關。
供氣必須清潔,干燥至0°F露點并過濾至0.25 μm或更高;建議使用純度為99.9%的氮氣。
對于XY配置,上軸行程為200 mm。如果上軸行程大于200 mm但等于或小于500 mm,則需要ABL1500WB作為下軸。
模型 | ABL1500-300 | ABL1500-400 | ABL1500-500 | ||
旅行 | 300毫米 | 400毫米 | 500毫米 | ||
準確性(1) | E1 | 已校準 | ±0.5微米 | ±0.6微米 | ±0.6微米 |
標準 | ±12.0微米 | ±16.0微米 | ±20.0微米 | ||
E3 | 已校準 | ±0.4微米 | ±0.5微米 | ±0.5微米 | |
標準 | ±5.0微米 | ±5.0微米 | ±5.0微米 | ||
重復性 (雙向)(1) | E1 | ±0.2微米 | ±0.3微米 | ||
E3 | ±0.15微米 | ±0.2微米 | |||
直線度(1) | ±0.75微米 | ±1.5微米 | ±2.0微米 | ||
平面度(1) | ±0.75微米 | ±1.5微米 | ±2.0微米 | ||
瀝青 | ±3弧秒 | ±4弧秒 | ±5弧秒 | ||
滾 | ±3弧秒 | ±4弧秒 | ±5弧秒 | ||
偏航 | ±3弧秒 | ±4弧秒 | ±5弧秒 | ||
速度 | 2 m /秒 | ||||
加速度 | 2克(空載) | ||||
力(連續) | 93.6 N | ||||
載重量(2) | 臥式 | 35公斤 | |||
側 | 25公斤 | ||||
運營壓力 | 80 psi±5 psig | ||||
耗氣量 | 24-30 SLPM @ 551 kPa(0.85-1.06 SCFM @ 5.51巴) | ||||
移動質量(空載) | 5.1公斤 | ||||
舞臺質量 | 21.3公斤 | 23.9公斤 | 26.5公斤 | ||
材料 | 鋁 | ||||
MTBF(平均無故障時間) | 30,000小時 |
通過每個階段的認證。
列出了軸上加載的軸方向。
規格適用于在桌面上方25 mm處測量的單軸系統。多軸系統的性能取決于有效載荷和工作點。有關多軸或非標準應用,請咨詢工廠。
為了防止空氣軸承承受負壓,建議在運動控制器/放大器的ESTOP輸入上連接一個在線壓力開關。
供氣必須清潔,干燥至0°F露點并過濾至0.25 μm或更高;建議使用純度為99.9%的氮氣。
對于XY配置,上軸行程為200 mm。如果上軸行程大于200 mm但等于或小于500 mm,則需要ABL1500WB作為下軸。
ABL系列定位平臺優點:
?幾何性能卓越的氣浮導軌
?1.2 m x 1.2 m 的行程
?光柵尺或激光回饋干涉儀
?亞微米定位精度
?XY 和 XYZ 集成系統
?無槽直接驅動電動機
同時我們還提供其他型號的納米級直線、旋轉高精密運動平臺,比如 pro系列,ANT95系列等等。
更多產品信息請聯系銷售工程師:于工 18510085666
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