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ABRS超精密轉臺

ABRS氣浮軸承精密運動轉臺擁有一個低矮的外形輪廓，并且能夠提供出眾的角度定位精度，卓越的速度穩定性以及極小的運動誤差。ABRS精密轉臺的設計應用于硅片檢測，高精度測量，激光衍射系統，光學檢測和制造以及納米制造技術。

特點:

1.無刷無槽力矩電機直接驅動

2.卓越的速度穩定性（無齒槽效應）

3.極佳的運動性能，誤差小，無抖動

4.直連式高精度圓光柵反饋

5.扁平結構設計

6.氣浮軸承，無機械接觸

臺面直徑：128~278mm

反饋分辨率：0.036~0.18 arc sec

雙向重復定位精度：<1arc sec

定位精度： 2 arc sec

異步軸跳： 20nm

異步徑跳： 20nm

ALAR直驅旋轉平臺

1.5種不同的孔徑尺寸：100mm,150mm,200mm,250mm,325mm

2.持續或有限的行程

3.300-1000lb的高軸向負載能力

4.寬大的軸承能提供較高的有效負載和瞬間負載能力

5.卓越的精度和重復定位精度

6.抖動和跳動小

7.無接頭電機提供平滑運動

8.無回差效應

9.精度不隨齒輪的磨損而改變

10.每分鐘45-300轉的持續轉速

11.有效負載必須在旋轉中心的應用的完美選擇，AZ滾動萬向架應用的重要選擇

12.10-6torr真空環境選項可選

孔徑325mm

精度3.9arcsec

負載6463N

ALAR型號：

ALAR-34E-A010

ALAR-34E-A011

ALAR-34E-A012

ALAR-34E-A013

ALAR-34E-A014

ALAR-34E-A015

ARMS超精密模擬仿真轉臺

1.為超高精度運動而設計。

2.無刷力矩電機直接驅動，可選更高速度和力矩電機。

3.突出的速度穩定性。

4.卓越的運動性能，誤差小，無抖動

5.有效載荷達230 kg

6.預裝有集流環

臺面直徑：146~260mm

反饋分辨率：0.02~4 arc sec

雙向重復定位精度 0.5 arc sec

定位精度         2.5 arc sec

速度波動率       0.0001%

ADR系列精密轉臺

ADR系列直接驅動轉臺提供精確的角度定位和速度控制。應用范圍包括高速激光加工和硅片精密檢測。

特點：

1.無刷力矩電機直接驅動

2.無齒槽設計提供卓越的速度穩定性

3.極佳的運動性能，誤差小，無抖動

4.直連式高精度圓光柵反饋

5.高精度機械軸承支撐

6.載荷可達150kg

臺面直徑：57~240mm

反饋分辨率：0.036~13 arc sec

雙向重復定位精度： 1arc sec

定位精度： 2 arc sec

軸跳： 0.5um

徑跳： 1um

ADR-34E-B042

ADR-34E-B043

ADR-34E-B044

ADR-34E-B045

ABRT超精密轉臺

1X射線衍射系統，光學檢測及制造和納米技術設備制造應用設計

2

3

4,誤差小,無抖動

5

6

7

臺面直徑100-200mm

分辨率0.027-0.055arcsec

雙向重復定位精度<1arcsec

定位精度 <2 arc sec

異步軸跳 <20nm

異步徑跳 <20nm

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