美國艾利卡特ALICAT雙向型氣體質(zhì)量流量控制器采用內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差專利技術(shù)，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運(yùn)動(dòng)。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補(bǔ)償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異，并對用戶標(biāo)準(zhǔn)工況進(jìn)行修正。雙向型質(zhì)量流量控制器可通過定制化的高速比例調(diào)節(jié)閥，正向或反向測量與控制過程氣體的質(zhì)量流量、體積流量和壓力。采用雙閥門設(shè)計(jì)模式，一臺(tái)閥門專門用于控制進(jìn)氣、另一臺(tái)用于排氣，實(shí)現(xiàn)了僅用一臺(tái)設(shè)備便可同時(shí)控制開放式或密閉容器內(nèi)上游、下游端流量，以及正壓、背壓。 

湖北高準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器ALICAT-MCS質(zhì)量流量控制器和流量顯示儀接真空泵

 

性能指標(biāo)

介質(zhì)要求：非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體
介質(zhì)種類：內(nèi)置了98種氣體，請參考“產(chǎn)品資料”氣體兼容表
一臺(tái)設(shè)備內(nèi)置所有氣體，用戶可現(xiàn)場選擇
量程：從-0.5SCCM～0.5SCCM 到-3000SLPM～3000SLPM
量程比：200:1
顯示流量：-FS～FS
顯示屏：帶按鍵，標(biāo)準(zhǔn)為LCD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏
顯示方式：同時(shí)顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度
精度：± (0.8%RD+0.2%FS)，RD-讀數(shù) FS-雙向滿量程
高精度：±(0.4%RD + 0.2%FS)，選配
僅適用于量程為5SCCM-500SLPM的設(shè)備
重復(fù)性：± 0.2% FS
零點(diǎn)漂移&滿量程漂移：0.02% FS / ?C / Atm
響應(yīng)時(shí)間：100ms(可調(diào)) 預(yù)熱時(shí)間：<1s
標(biāo)定工況：25?C & 100kPa 絕壓、20?C & 100kPa 絕壓、0?C & 100kPa 絕壓 (三種工況現(xiàn)場可切換)
工作溫度：-10 ～ +50 ?C
工作濕度：0-,無冷凝
標(biāo)準(zhǔn)工作壓力：1MPa 表壓
標(biāo)準(zhǔn)極限耐壓：1.2MPa 表壓

中壓選項(xiàng)：2MPa

湖北高準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器ALICAT-MCS質(zhì)量流量控制器和流量顯示儀接真空泵
數(shù)字輸入/輸出信號(hào)：RS232或RS485或Modbus或Profibus*
模擬輸入/輸出信號(hào)：0-5Vdc或1-5Vdc或0-10Vdc或4-20mA
可選第二路模擬輸出：質(zhì)量流量或體積流量或壓力或溫度
供電電壓：7-30 Vdc (如選4-20 mA輸出，須為15-30 Vdc)
供電電流：250mA ～ 750mA
電氣接口：8針Mini-DIN或DB9或DB15或6針工業(yè)接頭
材質(zhì)：302不銹鋼、Viton、RTV、玻璃增強(qiáng)尼龍、鋁、黃銅、 430FR 不銹鋼、 硅、 玻璃
安裝方式：對位置無要求 防護(hù)等級(jí)：IP40

 

從這個(gè)角度上看，頻譜分析儀更適合測量晶體頻率。2儀器測量頻率的精度從下面兩個(gè)方面來分析儀器的哪些參數(shù)影響到測量精度-內(nèi)部時(shí)鐘精度-測量值分辨率初步定性分析，頻率計(jì)作為專業(yè)測試設(shè)備，內(nèi)部時(shí)鐘精度不差，從定期的儀器校驗(yàn)結(jié)果看，精度高于1ppm，特別是它的分辨率12bit是非常高的；頻譜分析儀的時(shí)鐘精度看上去也可以，而且1Hz的分辨率滿足測試要求，但實(shí)際掃描到功率峰值的頻率是否穩(wěn)定還需要驗(yàn)證；而示波器的時(shí)鐘精度看上去與前兩者相差并不大，但需要考慮到：量化誤差（前端信號(hào)采集系統(tǒng)的8位ADC引起的信號(hào)幅度測量誤差）引起的垂直電平測量不準(zhǔn)確性，以及采樣率不足等因素都會(huì)引起水平軸的測量誤差，終導(dǎo)致頻率值測量誤差，而且其分辨率情況需要實(shí)測驗(yàn)證。