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超高純氣體純化技術是有色金屬研究總院“十三五”重點產業化方向。在“十二五”期間軍工項目科研成果基礎上研發的氣體純化材料，具有處理量大、去除雜質種類多、吸附深度大、使用壽命長等優點，并以此為核心技術開發出多個型號的惰性氣體、氫氣和氮氣等超高純氣體純化裝置。同時，有研總院自身具備不斷創新的研發能力，成套的純化材料生產、純化器組裝技術，以及完善的純化器性能測試條件，可根據用戶需求設計完整解決方案、定制非標產品，并提供各項性能檢測服務，目前產品已應用于中國科學院理化所、中國核工業集團、西南化工研究設計院、北京師范大學、北京航空航天大學、北京科技大學、國家有色金屬材料檢測中心，哈爾濱師范大學等單位獲得應用。

UP1L 超高純氣體純化器采用活性金屬為化學吸附劑，當原料氣通過活性金屬純化床時，氣體中O 2，H2O，N2，CO，CO2，CH4等雜質氣體與活性金屬發生化學吸附反應，根據原料氣純度不同，一次純化后出口氣體純度即達到 7N-8N，可實現無人值守全自動運行，并具有實時監測、故障報警和反饋等功能。為保證產品質量，純化器系統管路連接全部采用 Swagelok 全自動軌道焊機焊接，漏率低于 10－9 Pa；關鍵部件焊接、組裝、生產均在千級超凈環境中進射流沖蝕試驗機便于在各種條件下測定的磨損率。磨損率可 以用來確定在給定操作條件的材料。它也可以被用來預測使用壽命和壽命周期成本。

UP系列氣體純化器

委托上海正帆科技公司對 GRINM-UP1L 氬氣純化器性能檢測結果

部分用于現場照片：

山西中升鋼廠光譜儀配套UP10M使用現場，分析用氣體純度達到光譜儀檢測所需的級的綠色。

北京科技大學CVD設備用的多臺UP1L氬氣純化器

西南化工研究院定制 20MPa/30Nm3 氬氣純化器

搭載氫氣純化的電解水制氫/在線純化系統，用于人造鉆石生產高純氫場合

UP1L 超高純氣體純化器產品參數：

l  原料氣純度要求：≥99.999%，He/Ar/H2 /N2

l  產品氣純度：≥99.99999%

l  產品氣雜質含量：

H2O ≤5ppb

O2 ≤10ppb

N2 ≤10ppb（原料氣非 N2 ）

H2 ≤10ppb（原料氣非 H2 ）

CO ≤10ppb

CO2 ≤10ppb

CH4 ≤10ppb

NMHC ≤10ppb

l  工作流量：1000sccm

l  內置顆粒過濾器：2 微米

l  軟件功能：可顯示多達7種工作狀態或故障報警，并具有壽命計時及提醒功能

l  擴展功能：多臺純化器可同一終端批量控制，也可與其他設備集成使用

l  工作壓力：1.0MPa

l  進出氣接口：1/8″卡套或VCR 接頭

l  純化柱及管路：EP級316不銹鋼

l  電源電壓及功率：220V，0.8kw

l  產品外形尺寸：170×160×320mm

氣體純化器是集成電路、LED、太陽能板、光纖、燃料電池等制造工藝中必不可少的重要裝備，并可有效提高離子濺射、薄膜生長、焊接、配氣等多項技術的工藝性能。UP1L 超高純氣體純化器系列主要服務于各類科研與分析儀器，如氣相色譜儀、輝光質譜儀、光譜儀、鍍膜機等，為其提高高純度載氣或分析氣，也可用于保證材料氣相沉積生長、磁控濺射鍍膜、高精度焊接等用氣純度。