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AutoSE-一鍵式全自動(dòng)快速橢偏儀

全自動(dòng)化&高集成度&可視化光斑

操作簡單，測試快速，為一般操作工人設(shè)計(jì)

一鍵式全自動(dòng)快速橢偏儀 Auto SE——新型的全自動(dòng)薄膜測量分析工具。采用工業(yè)化設(shè)計(jì)，操作簡單，可在幾秒鐘內(nèi)完成全自動(dòng)測量和分析，并輸出分析報(bào)告。是用于快速薄膜測量和器件質(zhì)量控制理想的解決方案。

1主要特點(diǎn)

1. 液晶調(diào)制技術(shù)，無機(jī)械轉(zhuǎn)動(dòng)部件，重復(fù)性，信噪比高

2. 技術(shù)成像系技術(shù)，所有樣品均可成像，對于透明樣品,自動(dòng)去除樣品的背反射信號,使得數(shù)據(jù)分析更簡單.

3. 反射式微光斑，覆蓋全譜段，利于非均勻樣品圖案化樣品測試

4. 全自動(dòng)集成度高，安裝維護(hù)簡便

5. 一鍵式操作軟件，快速簡單

6. 自動(dòng)MAPPING掃描，分析樣品鍍膜均勻性

2技術(shù)參數(shù)

1. 光譜范圍：450-1000 nm

2. 多種微光斑自動(dòng)選擇

3. 光斑可視技術(shù)，可觀測任何樣品表面

4. 自動(dòng)樣品臺尺寸：200mmX200mm；XYZ方向自動(dòng)調(diào)節(jié); Z軸高度>35mm

5. 70度角入射

6. CCD探測器

高集成度全自動(dòng)式設(shè)計(jì)，操作簡便，安裝快速，自動(dòng)校驗(yàn)故障

液晶相調(diào)制

16個(gè)穆勒矩陣參數(shù)

1秒內(nèi)完成全譜測量

MyAuto View可視光斑技術(shù)

微光斑，四種可選

一鍵式操作，一鍵出報(bào)告

光譜范圍:450 – 1000 nm

70o入射角固定

自動(dòng)樣品臺

大樣品2D Mapping成像

可視光斑技術(shù)