華奧復興-半自動平行封焊機PAL100焊接MEMS器件
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簡介
半自動平行縫焊機 PAL100,是將平行封焊機和手套箱 集成在一起的管殼封蓋設備。通過真空烘烤和在手套箱內操作封蓋工藝,可以降 低管殼內的水氣及氧氣含量,滿足高性能高可靠性的需求。本設備由平行封焊機和手套箱組成。封口機完成管殼的封蓋工藝,手套箱為 封蓋工藝提供低氧低水汽含量的工藝環境。平行縫焊機放置于手套箱的操作箱內。物料經過真空烘箱的烘烤后,從操作箱的內門傳遞到操作箱內,完成封蓋工藝后,通過交換箱取出來。
應用領域
微波集成組件、T/R組件MEMS器件、電源模塊、光電器件、激光器件
設備特點
1、多種焊接模式:圓形焊、矩形焊、正多邊形焊及陣列焊。
2、先進的封焊能量控制方案,顯著提升了器件邊預與角的焊接質量。
3、電極輪壓力精確控制。
4、慢速焊接(針對陶瓷管殼)。
5、蓋板壓緊裝置。
6、電源參數管理簡便。
7、電極輪保護功能。
技術參數
型號 | PAL100 | ||
平行封焊機 | PKG(管殼) | 尺寸范圍:(3×3)mm~(100×100)mm(尺寸可定制200mm) | |
形狀:方形,圓形,正多邊形 | |||
焊接參數 | 焊接功率:6KW | ||
焊接速度:0.1mm/s~30mm/s | |||
焊接壓力:0~1500g | |||
運動軸 | 定位精度:0.02mm | ||
管殼旋轉角度范圍:360° | |||
焊接氣密性 | 達到GJB548B-2005的《微電子器件測試方法和程序》氣密性的要求 | ||
手套箱 | 操作箱體 | 箱體尺寸 | 900mm(高)x 750mm(深)x 1200mm(長) |
手套數量 | 2個(可選配3-4個) | ||
手套尺寸 | 手套口8英寸,厚度0.4mm丁基手套 硬鋁合金手套口(經過防腐蝕處理),口徑220mm | ||
使用時可保持一定的正負壓力 | -12mbar-12mbar | ||
箱子帶自動補氣和沖洗功能,PLC智能調控壓力 | |||
集成濕度檢測系統(露點儀檢測) | |||
集成氧含量檢測系統(氧傳感器檢測) | |||
自動清洗功能 | |||
烘箱和過度艙 | 烘箱尺寸 | 300mm(高)×300mm(寬)×350mm(長) | |
托盤 | 標準托盤(三層工作隔板及四層溫區加熱) | ||
通過PLC實現加熱系統的定期充氣,抽氣和沖洗等循環動作的智能控制 補充氣體來源于箱體內部 | |||
加熱方式 | 大艙加熱(加熱板加熱,3-4層) | ||
溫度控制范圍 | 150℃ | ||
溫度控制精度 | +/-2℃ | ||
溫度分布均勻性 | 溫度分布差異控制在+/5℃ |