現貨供應全新擴晶機-4寸6寸7寸8寸10寸擴晶機專業定制-斐達晶圓擴晶機原理-鄂州芯片擴片晶機廠家
價格
訂貨量(臺)
¥1800.00
≥1
店鋪主推品 熱銷潛力款
ῡῢῦῦῥῢῠῠῡῤῦ
在線客服
1.將氣壓表擰入設備左側過濾器螺孔中。插上電源,氣管接頭插入氣源;
2.打開電源開關和溫控開關,將溫度設定于55℃(不同晶片膜溫差異士5℃);
設置給定值:在基本顯示狀態下可以通過按∧,∨,<鍵來修改下顯示窗口顯示的設定溫度控制值。按∨鍵減小數據,按∧鍵增加數據,可修改數值位的小數點同時閃動(如同光標)。長按并保持不放可以快速地增加/減少數值,并且速度會隨小數點右移自動加快(2級速度)。而按<鍵則可直接移動修改數據的位置(光標),按∧或∨鍵可修改閃動位置的數值,操作快捷。
3.通氣后上壓盤自動回到最上方,按下氣缸下按鈕,下壓盤回至最下方(反復幾次下氣缸動作,將上升速度調整至適合速度)
4.松開鎖扣,掀起上工件板,先將擴晶環內環放于下壓模上,再將粘有晶片的翻晶膜放于下工件正中央,晶片朝上,將上工件板蓋上,鎖緊鎖扣。
5.按下氣缸上按鈕,下壓盤徐徐上升,薄膜開始向四周擴散,晶粒間隔逐漸拉大,當晶片間隔擴散至原來的2~3倍時既停止上升,將擴晶環外環圓角朝下平放在薄膜與內環正上方。
6.按上氣缸按鈕(始終按壓)上壓盤下降,將擴晶環壓合后,松開按鈕上壓盤自動回至最上方。
7.按下氣缸下按鈕,下壓盤下降至最下方,取出擴晶完畢的翻晶膜,修剪多余膜面,送下工序備膠固晶。
8.調節行程螺母在設備后面最下部開孔處,調節好后請緊固鎖緊螺母。
9.上氣缸速度調節閥在氣缸上下部。下氣缸速度調節閥在設備后部小方孔處。