達誼恒機器人
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沃騏智能裝備(蘇州)有限公司

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江蘇省蘇州市

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品牌 達誼恒機器人
型號 達誼恒機器人
是否進口 國產
工作范圍 2000
用途 達誼恒機器人
調試
運輸
應用 達誼恒機器人
商品介紹

達誼恒機器人達誼恒晶圓機器人,半導體產品

達誼恒手臂

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真空晶圓搬運機器人

   參數詳解 ※1


型號 Model UTVW-R2800H
機械手臂形狀 Robot Type 4軸圓坐標型 4 axis Cylindrical Coordinate

動作范圍

Operation Range

X-axis 680mm
θ-axis 330°
Z-axis 50mm

最大動作速度

Max. Operation Speed

X, A-axis
 120°/sec
θ-axis 80°/sec
Z-axis 37.5mm/sec
分解能力     
Resolution
X, A-axis
 0.001mm/pulse or less
θ-axis 0.001°/pulse
Z-axis 0.001mm/pulse
往復位置精度 Repeatability XYZ方向:各±0.1mm
可搬運重量 Payload 2kg (含手爪   including E/E)
潔凈度 Cleanliness ISO Class 3 (ISO-14644)
本體重量 Mass 85kg
必要設施 Facilities電源 Power Single phase 200-220±10% VAC 3A
設置環境 Environment溫度 Temperature 15-40℃ (Atmosphere side)/15-80℃ (Vacuum Seal Unit)
濕度 Humidity Atmospheric pressure ~ 10-6Pa
聯系方式
公司名稱 沃騏智能裝備(蘇州)有限公司
聯系賣家 湯洋
手機 祺祴祹祻祶祻祵祲祳祺祳
地址 江蘇省蘇州市