北京賽米萊德貿易有限公司
主營產品: 其他電工電氣輔材
無機光刻膠公司-負性光刻膠-Futurrex
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北京賽米萊德貿易有限公司供應美國Futurrex新型lift-off光刻膠NR9-3000PY,此款負膠的設計適用于比較寬的波長范圍和i線(366納米)曝光工具。當顯影后NR9-3000PY顯示出負的側壁角度,是lift-off工藝中比較簡易的光刻膠。和其他膠相比NR9i-3000PY有下面的優勢:
正負光刻膠
正負光刻膠
光刻膠分負性膠和正性膠兩類。光照后形成不可溶物質的是負性膠;反之,對某些溶劑是不可溶的,經光照后變成可溶物質的即為正性膠。正膠的圖像與掩模板的圖像是一致的,故此叫正膠,利用這種性能,將光刻膠作涂層,就能在硅片表面刻蝕所需的電路圖形。
一般來說線寬的用正膠,線窄的用負膠! 正性光刻膠比負性的精度要高,負膠顯影后圖形有漲縮,負性膠限制在2~3μm.,而正性膠的分辨力優于0.5μm 導致影響精度,正性膠則無這方面的影響。雖然使用更薄的膠層厚度可以改善負性膠的分辨率,但是薄負性膠會影響孔。同種厚度的正負膠,在對于抗濕法和腐蝕性方面負膠更勝一籌,正膠難以企及。賽米萊德提供美國Futurrex的光刻膠的供應與技術參數。
PR1-1500A1光刻膠
6,堅膜
堅膜也叫后烘,是為了去除由于顯影液的浸泡引起膠膜軟化、溶脹現象,能使膠膜附著能力增強,康腐蝕能力提高。
堅膜溫度通常情況高于前烘和曝光后烘烤的溫度 100-140度 10-30min
7,顯影檢驗
光刻膠鉆蝕、圖像尺寸變化、套刻對準不良、光刻膠膜損傷、線條是否齊、陡
小孔、小島。
NR9-3000PY 相對于其他光刻膠具有如下優勢: - 優異的分辨率性能 - 快速地顯影 - 可以通過調節曝光能量很容易地調節倒梯形側壁的角度 - 耐受溫度100℃ - 室溫儲存保質期長達3 年