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iH 高真空干泵 

我們的 iH 干泵為高難度的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產品） 提供高度可靠、成本低廉的泵解決方案。iH 系列 具有五級主泵，使用創新的懸臂式轉子、爪式和羅茨 設計，可改善粉塵的處理，減少排氣噪音。此外，iH 系列泵配有一臺單級機械增壓泵和完全 封閉的水冷卻電機。

應用

負載鎖定

轉換

計量

平版印刷

PVD 制程

PVD 預清潔

RTA

剝離/灰化

刻蝕

植入源

HDP CVD

RTP

SACVD

MCVD

PECVD

LPCVD

ALD

功能與優勢

優化了設施消耗

無需預防性維護

懸臂軸和特殊的異型轉子便于顆粒的處理

在節省電機功率的同時程度提高了工作繁重的 CVD 應用條件下的穩定性

耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體

較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的安全保證

軸桿一體化設計無需電機聯軸器，第五抽排級免除對消音器的需求，也避免了顆粒堆積，兩者均減少了總體占地空間

泵系列

實踐證明，Edwards 高級半導體真空泵能夠達到運行標準。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產率，同時程度地減小占地面積、降低運行成本，實現了高的可靠性和性能。 

iH 系列為難以執行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。

iH80

iH160

iH600

iH1000

iH1800

iH1800HTX