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iGX 干泵真空系統

iGX 干式真空泵系列為 大修之間零維護現代干泵樹立了新標準；這 使其成為了世界上的干泵之一，目前已在大多數 領先的 300mm 工廠中安裝了 20,000 套以上。 iGX 系列包括 MicroTIM 工具 接口和以太網連接，允許通過網頁查看 主要數據，同時包括一套全面的網絡選項， 可確保泵持續運轉。

iGX 泵的峰值速度范圍 很寬，并可以改變以適合各種應用條件，包括從清潔 到中等負載制程。模塊化設計允許用戶對 iGX 干泵 進行配置以適合各個工廠的要求。緊湊的占地面積允許使用多種安裝 選項，包括工具上、近程和遠程操作。

通過使用 iGX 干泵技術， 整個工廠通常可以在設施成本方面實現 40%* 的節省 （與 iL/iH 干泵相比）。  

*基 于包含 200 個工具、537 臺泵/70% iGX 泵、30% iH 泵/ iGX 配有恒流水閥的 300mm 美國工廠。

應用

目標應用包括：

PVD

電介質刻蝕

導體刻蝕

金屬刻蝕

植入源

客戶也將 iGX 用于一系列 清潔和輕負載應用。

主要特性和優勢

低功耗和零預防性維護，可降低擁有成本

小巧輕便，可使用靈活的 安裝選項

高性能電機和變頻器驅動裝置

待機模式使用環保模式，功耗 更低

高導熱性材料和 優良設計可實現低水流量和高效冷卻 - 那又怎么樣？

精密陶瓷軸承 可確保高負載容量，因而更加可靠

低振動和小于 55 dB(A) 的低噪聲，可以安裝在操作中同附近

泵系列

iGX100

iGX600

iGX1000