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廣州蘇盈電子科技-氣體流量控制閥

流量計轉換器中儲存了60多種常規氣體比熱轉換系數，設置為基體單一潔凈氣體。但在現場實際測量中，介質純度并不那么高。雖然流量計的設計精度沒有下降，但測量值可能與實際值有一定的偏差，這也是為什么熱氣體質量流量計適合測量干氣體的原因；介質溫度是熱氣體質量流量計的一大難點。熱式質量流量計一般在測量氣體時必須是干燥的氣體，不能含有水分。流體可能產生的沉積、結垢和凝結會影響儀器的性能。熱式質量流量計測量氣體時，流體溫度的變化不像體積流量計隨氣體體積的變化而變化，不影響熱式質量流量計的測量。

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空氣流量計是將吸入的空氣流量轉換成電信號的儀器?？諝饬髁坑嫷膬烖c是壓力損失小，可測流量范圍大。

熱氣體質量流量計可用于測量介質。熱氣體質量流量計是一種用于測量各種氣體流量的儀器，不僅具有測量精度高、穩定性好的優點，而且在長期使用中可以提高企業的使用成本?？諝饬髁坑嫷膬烖c是壓力損失小，可測流量范圍大?？諝饬髁坑嫷牧髁颗c流量之比一般在20:1以上，適用的工業管徑范圍寬，可達3m，輸出信號與被測流量線性，精度高

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熱分布式儀表使用口徑和流量均較小，較多應用于半導工業外延擴散、石油化工微型反應裝置、鍍膜工藝、光導纖維制造、熱處理淬火爐等各種場所的氫、氧、氨、燃氣等氣體流量控制，以及固體致冷中固體蒸發等累積量和閥門制造中泄漏量的測量等。

通過實時測量氣體帶走熱量H的大小來得到氣體的質量流量，這就是目前市場上主流的恒溫差熱式。如果把分子的熱量H恒定，實時測量溫度差的大小來得到氣體質量流量，就是恒功率熱式。

傳感器的熱膨脹系數不同，隨著使用時間的加長會產生老化、龜裂等現象，終會導致傳感器的測量精度超差，且難以維持長期精度。

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價格相較于科里奧利質量流量計便宜很多。量程比窄是孔板流量計的一大缺點，但是近年來蓬勃發展雙量程孔板流量計，能將其量程比擴大到33倍，而且達到1.0％不確定度，從而彌補了該缺陷。高純氣體的純度極高，組分的變化完全可以忽略不計，因此，氣體的密度除了受溫度、壓力及壓縮系數影響之外，無其他因素。即使質量流速低到0.1Nm/s都有很好的線性。此外還具有快速響應的能力。恒功率原理可以檢測較高的流速變化，在大流速應用場合有非常好的表現力，但低流速特性不如恒溫差，其次響應時間相對于恒溫差較差。

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熱式氣體質量流量計大都采用開路的負壓空氣標定，然后修正到高壓力工況，或者修正到其他氣體，比如氣、二氧化碳、氧氣、氫氣、氨氣等等。修正標定必然導致測量精度不能保證，恒溫差原理具有非常好的的低流量特性，即使質量流速低到0.1Nm/s都有很好的線性。此低壓標定后的表應用在高壓工況，空氣介質標定后的表應用在其他氣體介質，測量精度無法保證。然后修正到高壓力工況，或者修正到其他氣體，比如氣、二氧化碳、氧氣、氫氣、氨氣等等。

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浸入式 大部分浸入式TMF性能不受安裝姿勢影響。然而在低流速測量時因受管道內氣體對流的熱流影響，使安裝姿勢顯得重要。因此在低和非常低流速流動時要獲得測量,熱氣體質量流量計是一種用于測量各種氣體流量的儀器，不僅具有測量精度高、穩定性好的優點，而且在長期使用中可以提高企業的使用成本。使用空氣流量計時，通過過流式流量計推動渦輪葉片轉動。葉片轉速與流過空氣流量計的氣量成正比。流量計口安裝有一特殊設計的導流架，隨著流量的增大，對進入流量計的氣流進行加速。采用導向架可以消除渦流、非對稱流等潛在流體擾動。同時，推動渦輪葉片的動力增加。

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利用流動流體傳遞熱量改變測量管壁溫度分布的熱傳導分布效應的熱分布式流量計曾稱量熱式;2)利用熱消散（冷卻）效應的金氏定律。又由于結構上檢測元件伸入測量管內，也稱浸入型或侵入型有些在使用時從管外插入工藝管內的儀表稱作插入式。

TMF無活動部件，無分流管的熱分布式儀表無阻流件，壓力損失很小；帶分流管的熱分布式儀表和浸入性儀表，雖在測量管道中置有阻流件，但壓力損失也不大。

TMF使用性能相對可靠。與推導式質量流量儀表相比，不需溫度傳感器，壓力傳感器和計算單元等，僅有流量傳感器，組成簡單，出現故障概率小。

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熱分布式儀表用于H2 、N2 、O2、CO 、NO等接近理想氣體的雙原子氣體，不必用這些氣體專門標定，直接就用空氣標定的儀表，實驗證明差別僅2%左右；用于Ar、He等單原子氣體則乘系數1.4即可,

熱式質量流量計響應慢。

被測量氣體組分變化較大的場所，因cp值和熱導率變化，測量值會有較大變化而產生誤差。

對小流量而言，儀表會給被測氣體帶來相當熱量。

對于熱分布式TMF，被測氣體若在管壁沉積垢層影響測量值，必須定期清洗；對細管型儀表更有易堵塞的缺點，一般情況下不能使用。

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熱分布式儀表使用口徑和流量均較小，較多應用于半導工業外延擴散、石油化工微型反應裝置、鍍膜工藝、光導纖維制造、熱處理淬火爐等各種場所的氫、氧、氨、燃氣等氣體流量控制，適用的工業管徑范圍寬，可達3m，輸出信號與被測流量線性，精度高，可測量電導率≥1μs/cm的酸、堿、鹽溶液、水、污水、腐蝕性液體和泥漿、礦漿的流體流量。但是空氣流量計不能測量氣體、蒸汽和純凈水的流量。