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廣州蘇盈電子科技-MEMS流量測量

流體 可能 產生 的沉積 、結垢 和凝結 會影響 儀器 的性能 。 熱式 質量流量計 測量 氣體 時，流體 溫度 的變化 不像 體積 流量計 隨氣體體積的變化 而變化 ，不影響 熱式 質量流量計 的測量 。空氣流量計是將吸入 的空氣 流量 轉換成 電信號 的儀器 。 空氣流量計的優點 是壓力 損失 小，可測 流量 范圍 大。 空氣流量計的 流量 與 流量 之比一般 在20 :1以上 ，適用 的工業 管徑 范圍 寬， 可達 3m，輸出 信號 與被測流量 線性 ，精度高 ，可測量 電導率 ≥1μs/cm 的酸、堿、鹽溶液 、水、污水 、腐蝕性 液體 和泥漿 、礦漿 的流體 流量 。 但是 空氣流量計不能測量 氣體 、蒸汽 和純凈水 的流量 。



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熱式質量流量計廣泛應用于環保和工業中。熱式質量流量計一般在測量氣體時必須是干燥的氣體，不能含有水分。

熱式氣體質量流量計在裝置時有很多事項需要注意。熱式氣體質量流量計的傳感器由兩個基準鉑電阻溫度傳感器組成，一個測量流量溫度，另一個保持高于溫度的恒溫差。

熱分布式 大部分熱分布式TMF的流量傳感器可任何姿勢（水平、 垂直或傾斜）安裝，有些儀表只要安裝好后在工作條件壓力、溫度下作電氣零點調整。然而有些型號儀表對安裝姿勢具有敏感性，大部分制造廠會對此就安裝姿勢影響和安裝要求作出說明。

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熱氣體質量流量計是利用熱傳導原理測量流量的儀器。該儀器通過恒溫差停止測量氣體的質量流量。熱氣體質量流量計有很多優點。畢竟它們的體積比較小，裝置也很方便，測量也很準確。

氣體質量流量計是一種用于測量各種氣體流量的儀器，不僅具有測量精度高、穩定性好的優點，而且在長期使用中可以提高企業的使用成本，空氣流量計的流量與流量之比一般在20:1以上，適用的工業管徑范圍寬，可達3m，輸出信號與被測流量線性，精度高。

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熱分布式TMF可測量低流速（氣體0.02~2m/s）微小流量；浸入式TMF可測量低~中偏高流速(氣體2~60m/s)，插入式TMF更適合于大管徑。熱分布式儀表用于H2 、N2 、O2、CO 、NO等接近理想氣體的雙原子氣體，不必用這些氣體專門標定，直接就用空氣標定的儀表，實驗證明差別僅2%左右；用于Ar、He等單原子氣體則乘系數1.4即可；用于其他氣體可用比熱容換算，但偏差可能稍大些。氣體的比熱容會隨著壓力溫度而變，但在所使用的溫度壓力附近不大的變化可視為常數。熱式質量流量計響應慢。

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熱分布式儀表使用口徑和流量均較小，較多應用于半導工業外延擴散、石油化工微型反應裝置、鍍膜工藝、光導纖維制造、熱處理淬火爐等各種場所的氫、氧、氨、燃氣等氣體流量控制，以及固體致冷中固體蒸發等累積量和閥門制造中泄漏量的測量等。

通常在主流管道上裝孔板等節流裝置或均速管，分流部分氣體到流量傳感器進行測量。然而在低流速測量時因受管道內氣體對流的熱流影響，使安裝姿勢顯得重要。因此在低和非常低流速流動時要獲得測量大部分制造廠會對此就安裝姿勢影響和安裝要求作出說明。例如LDG-□DB系列為減少環境氣氛對流傳熱影響

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熱氣體質量流量計是利用熱傳導原理測量流量的儀器。該儀器通過恒溫差停止測量氣體的質量流量。因此介質溫度與介質的比熱是關鍵參數。流量計轉換器中儲存了60多種常規氣體比熱轉換系數，設置為基體單一潔凈氣體。但在現場實際測量中，介質純度并不那么高。雖然流量計的設計精度沒有下降，但測量值可能與實際值有一定的偏差，這也是為什么熱氣體質量流量計適合測量干氣體的原因；介質溫度是熱氣體質量流量計的一大難點。工作時，需要將加熱探頭加熱到比介質溫度高50度的狀態。

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利用流動流體傳遞熱量改變測量管壁溫度分布的熱傳導分布效應的熱分布式流量計曾稱量熱式;2)利用熱消散（冷卻）效應的金氏定律。又由于結構上檢測元件伸入測量管內，也稱浸入型或侵入型有些在使用時從管外插入工藝管內的儀表稱作插入式。

TMF無活動部件，無分流管的熱分布式儀表無阻流件，壓力損失很小；帶分流管的熱分布式儀表和浸入性儀表，雖在測量管道中置有阻流件，但壓力損失也不大。

TMF使用性能相對可靠。與推導式質量流量儀表相比，不需溫度傳感器，壓力傳感器和計算單元等，僅有流量傳感器，組成簡單，出現故障概率小。

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熱分布式儀表用于H2 、N2 、O2、CO 、NO等接近理想氣體的雙原子氣體，不必用這些氣體專門標定，直接就用空氣標定的儀表，實驗證明差別僅2%左右；用于Ar、He等單原子氣體則乘系數1.4即可,

熱式質量流量計響應慢。

被測量氣體組分變化較大的場所，因cp值和熱導率變化，測量值會有較大變化而產生誤差。

對小流量而言，儀表會給被測氣體帶來相當熱量。

對于熱分布式TMF，被測氣體若在管壁沉積垢層影響測量值，必須定期清洗；對細管型儀表更有易堵塞的缺點，一般情況下不能使用。

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熱分布式儀表使用口徑和流量均較小，較多應用于半導工業外延擴散、石油化工微型反應裝置、鍍膜工藝、光導纖維制造、熱處理淬火爐等各種場所的氫、氧、氨、燃氣等氣體流量控制，適用的工業管徑范圍寬，可達3m，輸出信號與被測流量線性，精度高，可測量電導率≥1μs/cm的酸、堿、鹽溶液、水、污水、腐蝕性液體和泥漿、礦漿的流體流量。但是空氣流量計不能測量氣體、蒸汽和純凈水的流量。