流量計真空計
主營產品: 流量計真空計真空泵, 分子泵, 半導體激光器
英福康CDG160D薄膜規真空計
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我們的解決方案包括氣體和流量控制器、汽化、自動補液、氣體發生器、超純水監測儀和化學濃度監測儀。流體控制
HORIBA 擁有多種產品以您的流體測量和控制要求。
在各種制造和研究實驗室中,我們提供氣體和的測量和可靠控制。HORIBA 是高性能流量計、流量控制器、自動壓力控制器和汽化的,用于整個半導體制造行業。
流量控制
D500
壓力控制
GR-200
液源汽化
壓力控制
HORIBA 提供多種壓力控制產品,用于監測、調節或控制供氣管線中的壓力。
HORIBA 壓力控制產品包括數字高性能壓力傳感器和壓電閥。它們可以幫助由切換高流量管線引起的串擾影響。
HORIBA 晶圓冷卻使用氦氣來熱損傷,我們的排氣壓力控制器可保持腔室中的壓力水平一致。DZ-100
DZ-100 超薄流量控制器
超薄流量控制器
DZ-100 繼承了與 HORIBA STEC 的 MFC D500 相同的 CRITERION? 技術——一種用于層流粘性流量范圍的壓差檢測。這種創新技術可以高精度地控制各種氣體的流量。與 D500 一樣,用戶可配置的 DZ-100 支持多量程和多氣體應用。MFC的緊湊設計了內部氣體流路的內部體積,的控制算法了響應特性。它采用具有高處理能力的緊湊型 CPU,壓電驅動電路和控制 CPU 安裝在 MFC 模塊中,而電源組件則安裝在單獨的小型控制箱中。通過將它們與專用微型連接器連接,多可以控制四個 MFC 模塊。
細分市場:半導體
部門:流體控制
制造公司:HORIBA STEC, Co., Ltd.
緊湊的自加熱設計
創新電極結構帶來的高性能和高性
鎳合金隔膜具有優異的耐腐蝕性
設定點輸出(2點)
輸出
通過專用進行量程
一鍵歸零
電源要求 +/-15VDC 或 24VDC
符合 CE 和 RoHS