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X熒光光譜儀根據有手持和臺式兩種，所采用的都是X熒光光譜儀的原理。X熒光光譜儀由激發源和探測系統構成，根據各元素的特征X射線的強度，也可以獲得各元素的含量信息。
X熒光光譜儀根據有手持和臺式兩種，所采用的都是X熒光光譜儀的原理。X熒光光譜儀由激發源和探測系統構成，根據各元素的特征X射線的強度，也可以獲得各元素的含量信息，X熒光光譜儀隨著分光、探測系統及X光管等的不斷改善和電子計算機的應用，而得到迅速的推廣和發展。可以預料，對新技術、新方法的探索，還會不斷促進XRF熒光光譜儀器的更新發展。

X熒光光譜儀優點：
1、分析速度高。測定用時與測定精密度有關，但一般都很短，2～5分鐘*可以測完樣品中的全部待測元素；
2、X射線熒光光譜跟樣品的化學結合狀態無關，而且跟固體、粉末、液體及晶質、非晶質等物質的狀態也基本上沒有關系。(氣體密封在容器內也可分析)但是在高分辨率的精密測定中卻可看到有波長變化等現象。特別是在超軟X射線范圍內，這種效應更為顯著。波長變化用于化學位的測定；
3、非破壞分析。在測定中不會引起化學狀態的改變，也不會出現試樣飛散現象。同一試樣可反復多次測量，結果重現性好；
4、X射線熒光分析是一種物理分析方法，所以對在化學性質上屬同一族的元素也能進行分析；
5、分析精密度高；
6、制樣簡單，固體、粉末、液體樣品等都可以進行分析。

X熒光光譜儀的使用注意事項： 
1、 為了保持儀器的良好外觀，需經常對儀器表面做清潔工作，用軟布擦拭灰塵；
2、 向樣品腔內放樣品時，一定要注意清潔，不可使樣品塵粒掉入其中，否則會污染X光管和探測器窗口，造成測量失準和探頭損壞；
3、 樣品蓋需要用酒精棉球做好清潔工作； 
4、為使儀器能長期工作正常，需定期對各項參數進行測試，并進行調整；
5、 儀器只允許經培訓的人員才能操作，其他人員一律不能操作；
6、 使用、保存和搬動中，要特別小心，以免磕碰、損傷外表、損壞內部線路。

X熒光光譜儀的優勢：
1、制樣簡單：通常情況下是物理制樣。試樣經過簡單的破碎、研磨成粉末壓片或熔融制成；
2、分析范圍廣：理論上從元素Be到92號元素鈾均可進行分析；
3、測量范圍寬：從0.001%到均可進行分析。
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