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1.空氣源臭氧發生器

空氣經壓縮機壓縮后進入臭氧發生器制取臭氧，適合于產量10kg/h以下的臭氧發生器。

該類型臭氧發生器制取臭氧的濃度在2-2.5%，功耗在14-16kwh/kgO3（不計空氣壓縮功耗）。

由此可以看出，空氣源和富氧源臭氧發生器主要費用為電耗，氧氣源臭氧發生器主要費用為液氧和電耗。

具體使用哪種形式需根據實際情況考慮，液氧源臭氧發生器設備故障率及維修費用會大大降低，但需考慮液氧是否方便購買及購買成本問題。通常每噸液氧單價為600元左右，運輸費用每噸液氧每公里約0.8-1元。

內部循環水帶走臭氧產生過程多余的熱量，并傳遞給外部循環水帶走熱量。該系統包括換熱器、循環水泵、膨脹罐、壓力開關等。

空氣源臭氧發生器設計冷卻水量為3-4m3/kgO3/h，氧氣源臭氧發生器設計冷卻水量為1.7-2m3/kgO3/h。

由于臭氧發生器材質通常為SS316，內部循環水需采用除鹽水進行冷卻，以減輕對臭氧發生器的腐蝕。

外部循環水可采用自來水，但其溫度一般≤28℃，因為過高的水溫會降低臭氧發生器的效率，從而增加電耗。

尾氣破壞器

剩余的臭氧釋放到空氣中本身是一種污染源，需控制臭氧排放濃度。

即使有最好的擴散系統，從反應池排出的氣體中也會含有較多的臭氧。

尾氣破壞器有高溫加熱分解和填料催化分解兩種形式，可控制臭氧排放濃度在0.08ppm以下。