北京科創鼎新真空技術有限公司
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半導體真空腔體加工公司-科創真空-半導體真空腔體加工機構
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真空腔體加工的注意事項
真空腔體是保持內部為真空狀態的容器,真空腔體加工要考慮容積、材質和形狀。
超高真空系統主要采用不銹鋼材質。其中300系列不銹鋼(表1)是含Cr10%~20%的低碳鋼,具有優良的抗腐蝕性、無磁性、焊接性好、導電率、放氣率低和導熱率低、能夠在-270~900℃工作等優點,在高真空和超高真空系統中,應用較廣。
為了減小腔體內壁的表面積,通常用噴砂或電解拋光的方式來獲得平坦的表面。超高真空系統的腔體,更多的是利用電解拋光來進行表面處理。
動態泄漏
真空系統中有運動傳遞的地方會采用動密封,這些動密封結構,很有可能在靜態的時候密封良好而運動的時候產生泄漏;比如采用橡膠軸封做動密封(閥桿與閥體之間)的閥門,就比較容易發生這種現象。這種現象發生的概率不高,不過由于檢漏時閥門一般是處于打開或關閉的某一個狀態,這種動態泄漏很難被發現。
對于非常關鍵的工藝,選擇波紋管密封的閥門可以大大減小出現動態泄漏的概率;如果選用的還是軸封做密封的閥門,在檢漏時
真空腔體
化學拋光是讓材料在化學介質中表面微觀凸出的部分較凹部分優先溶解,從而得到平滑面。這種方法的主要優點是不需復雜設備,可以拋光形狀復雜的工件,可以同時拋光很多工件,。化學拋光的問題是拋光液的配制。化學拋光得到的表面粗糙度一般為數10μm??苿摱π乱哉\信為首 ,服務至上為宗旨。公司專注 真空腔體產品銷售,公司擁有強大的銷售團隊和經營理念。想要了解更多信息,趕快撥打網站上的熱線電話!