四川25nm光刻機(jī) 四川27nm光刻機(jī) 鑫南光 產(chǎn)品齊全
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四川25nm光刻機(jī) 四川27nm光刻機(jī) 鑫南光 產(chǎn)品齊全

四川25nm光刻機(jī)-四川27nm光刻機(jī)-鑫南光-產(chǎn)品齊全

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￥248000.00

≥1

￥242000.00

≥3

聯(lián)系人 劉經(jīng)理

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商品介紹
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聯(lián)系方式
品牌 鑫南光
售后服務(wù) 24小時(shí)服務(wù)
發(fā)貨產(chǎn)地 成都
是否跨境貨源 否
加工定制 是
可售賣(mài)地 全國(guó)
用途 它主要用于中小規(guī)模集成電路、半導(dǎo)體元器件、聲表面波器件的研制和生產(chǎn)。
類(lèi)型 光刻機(jī)
工作電壓 240V
別名 曝光機(jī)
曝光面積 Φ6"，4"，3"
曝光最小分辨率為 3μm
光強(qiáng) ≤10mw/cm2
片對(duì)版的預(yù)定位精度 ≤±0.1mm
商品介紹

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主要構(gòu)成
     主要由對(duì)準(zhǔn)工作臺(tái)、雙目分離視場(chǎng)CCD顯微顯示系統(tǒng)、LED曝光頭、PLC電控系統(tǒng)、氣動(dòng)系統(tǒng)、真空管路系統(tǒng)、直聯(lián)式真空泵、二級(jí)防震工作臺(tái)和附件箱等組成。

主要技術(shù)指標(biāo)：

1、曝光類(lèi)型：?jiǎn)蚊?；配?"LED用曝光頭

2、曝光面積：110×110mm；

3、曝光照度不均勻性：≤±3%；

4、曝光強(qiáng)度：0～30mw/cm2可調(diào)；

5、紫外光束角：≤3?0?8；

6、紫外光中心波長(zhǎng)：365nm；

7、紫外光源時(shí)間：≥2萬(wàn)小時(shí)；

8、采用電子快門(mén)；

9、曝光分辨率：1μm

 

10、顯微鏡掃描范圍：X： ±15mm   Y：±15mm；

 

11、對(duì)準(zhǔn)范圍：X、Y 調(diào)節(jié) ±4mm；Q向調(diào)節(jié)±3°；

 

12、套刻精度：1μm；

 

13、分離量；0～50μm可調(diào)；

 

14、曝光方式：接觸式曝光，可實(shí)現(xiàn)硬接觸、軟接觸和微力接觸曝光；

 

15、找平方式：氣浮找平；

 

16、掩模版尺寸：≤127×127mm；

 

17、基片尺寸：≤Φ102mm(或者102×102mm)；

 

18、基片厚度：≤5 mm；

 

19、曝光定時(shí)：0～999.9秒可調(diào)；

 

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聯(lián) 系  人：劉先生/康先生/左先生
移動(dòng)電話：139-0818-7709（劉總）
          177-1362-6490（康經(jīng)理）
          135-5119-7043（左經(jīng)理）

電    話：86 28 85730519

傳    真：86 28 85730589

郵    編：610200

地    址：中國(guó) 四川 雙流縣 蛟龍工業(yè)港雙流園區(qū)渤海路3座

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聯(lián)系方式
公司名稱(chēng) 成都鑫南光機(jī)械設(shè)備有限公司
聯(lián)系賣(mài)家 劉經(jīng)理
手機(jī) 钳钶钴钺钻钳钻钵钵钺钴
地址 四川省成都市