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產(chǎn)品用途:

本機(jī)適用于硅片、石英晶片、陶瓷片、砷化鉀片及其它硬脆材料的雙面精密研磨加工。

主要特點(diǎn)：

1.          變頻器配合異步電機(jī)拖動(dòng)，實(shí)現(xiàn)了軟啟動(dòng)，軟停止，調(diào)速穩(wěn)定，沖擊小。

2.          采用雙電機(jī)同步拖動(dòng)，太陽(yáng)輪變速范圍更廣，能適應(yīng)不同研磨工藝的要求。

3.          太陽(yáng)輪與內(nèi)齒圈同步抬升，滿足了取放工件及調(diào)整游輪嚙合位置的要求。

4.          上下研磨盤采用斜齒輪傳動(dòng)，提高了運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)性。

5.          采用PLC控制，壓力采用電—?dú)獗壤y閉環(huán)反饋控制，壓力等級(jí)設(shè)定更方便精確，操作簡(jiǎn)單易行，工作可靠穩(wěn)定。

6.          本機(jī)應(yīng)用人機(jī)界面（PT）采用人機(jī)界面終端（NT）顯示與PLC控制，一方面顯示運(yùn)行參數(shù)，另一方面通過(guò)其觸摸鍵調(diào)整設(shè)定各項(xiàng)工藝參數(shù)，主操作由普通鍵鈕完成。

7.          造型及內(nèi)部結(jié)構(gòu)充分考慮了可靠性、實(shí)用性、互換性和操作和維修的方便性。

主要技術(shù)參數(shù)：

1、研磨盤尺寸：                   φ1112mm×φ380mm×50mm

2、游星片參數(shù)：                     公制M=2  Z=212

英制DP12  Z=200                             

3、游星片數(shù)量：                 5片

4、最大研磨直徑：                 φ350mm

5、最小研磨厚度：           0.40mm/φ125mm

6、最大研磨厚度：                 30mm

7、下研盤轉(zhuǎn)速                     0-50rpm   

8、主電機(jī)：             11kW      AC380V     1450rpm變頻調(diào)速 

9、副電機(jī)：             1.5kW       AC380V     1400rpm

10、            砂泵參數(shù)：       1/4HP   380V

11、            氣源：                          0.5-0.6MPa

12、            外形尺寸：       2200mm×1600mm×2700mm  

13、             質(zhì)量：          約5600Kg

主機(jī)精度：

1.      下研盤端跳：      0.06mm

2.      研磨盤平面度：    0.025mm

3.      太陽(yáng)輪徑向跳動(dòng)：  0.08mm

4.      齒圈徑向跳動(dòng)：    0.15mm

加工精度（四個(gè)修正輪修研后）：

1.修正輪修研后平行平面度：    ≤0.004mm

2.加工件平面平行度：          ≤0.0035/φ125mm

加工能力：

1.單片承片量：     17片/φ75mm  8片/φ100mm  5片/φ125mm

2.整盤承片量：     85片/φ75mm  40片/φ100mm  25片/φ125mm