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磁控濺射鍍膜機6寸永磁共焦靶槍高性能兼容RF/DC/MF磁性材料配脈沖直流和全自動射頻電源
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聯系人 應小康 
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發貨地 浙江省杭州市
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商品參數
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商品介紹
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聯系方式
腔體材質 304不銹鋼
腔體尺寸 W500×L500×H500
結構 前后開門帶2個觀察窗
旋轉基片臺功能 連續旋轉
空載極限真空 ≤6*10-5Pa
腔體泄漏率 ≤1X10-7Pa.m3/S
靶槍 6 寸
鍍膜不均勻度 ≤±5%
分子泵抽氣口直徑 250mm
預留電極接口 CF35/6 芯 M3 電極
膜厚儀 英福康 SQM-160
電阻規測量范圍 1*105～10*-1Pa
電離規測量范圍 5～1*10-5Pa
商品介紹
?磁控濺射鍍膜機
功能卓越
質量可靠
專業團隊
交貨準時
商品參數
尺寸
寬500×長500×高500
材質
優質304不銹鋼
用途
涂覆薄膜（鍍膜）
靶槍
六寸，自研
兼容
磁控靶RF、DC、MF
系統
PLC+工控機+觸摸屏全自動控制方式
產品特點
NO.1
旋轉基片臺
樣品臺可放置不小于100mm樣品1片，具有連續旋轉功能，旋轉0—30轉/分連續可調?；訜釡囟龋菏覝亍?/font>300°C連續可調，由熱電偶閉環反饋控制，加熱電源配備控溫表，控溫方式為PID自動控溫及數字顯示
NO.2
6寸永磁靶槍
自研靶槍，磁控濺射系統3套， 濺射室中配安定制尺寸若干套高性能永磁共焦磁控濺射靶（濺射靶角度可調），各靶可獨立/順次/共同工作，磁控靶RF、DC、MF兼容，可以濺射磁性材料，磁控靶與基片距離可調，配備進口SMC旋轉氣動控制擋板組件；配脈沖直流電源（不小于500W）和全自動匹配射頻電源（不小于500W）；提供3塊測試靶材。鍍膜不均勻度≤±5%。
NO.3
系統全自動
系統采用PLC+工控機+觸摸屏全自動控制方式，可進行自動抽氣及程序設定、計算機實時顯示記錄真空度及加熱溫度、計算機設定顯示直流電源、射頻電源功率參數、計算機設定顯示MFC的設定控制等、計算機設定顯示當班狀態、樣品轉速等。
公司介紹
帕菲克特裝備科技（杭州）有限公司
帕菲克特裝備科技（杭州）有限公司主要經營技術開發、技術咨詢、技術服務、成果轉讓；人工智能設備、機械設備、計算機系統集成、計算機軟硬件、照明技術、網絡信息技術、儀器儀表、通信技術（除國家?？兀?、電子產品、電子元器件；服務：承接網絡工程、建筑智能化工程、會議會展服務；批發、零售：儀器儀表、機械設備及其配件、電子產品；貨物合計數進出口（法律、行政法規禁止經營的項目除外，法律、行政法規限制經營的項目取得許可后方可經營）。（依法須經批準的項目，經相關部門批準后方可開展經營活動），注冊資本500萬元，公司堅持誠信、互利，為客戶提供良好的服務和實惠的價格，我公司的辦公地址在浙江省杭州市錢塘新區白楊街道22號大街22號2幢1203室，如果您對我們的產品服務有興趣，請在線或者撥打我們的電話咨詢，熱誠歡迎各界朋友前來參觀、洽談業務。
購買須知
01
關于產品
本店所有產品均為實物拍攝，因拍攝、顯示器等原因可能出現不同程度色差，屬于正常情況，以收到的實物為準。
02
關于價格
產品價格面議，請聯系商家確定價格運費稅費等，并說明開票等相關事宜。
03
關于物流
所有貨物均走正規物流，將根據您訂購的產品數量大小安排發貨，運費將提前與您確定。
04
關于售后
公司銷售的產品在發貨前均經過嚴格質量檢測，確保產品良好，請在收貨前仔細檢查，如有問題請及時聯系我們。
聯系方式
公司名稱 帕菲克特裝備科技（杭州）有限公司
聯系賣家 應小康
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地址 浙江省杭州市
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