上海磊微科學(xué)儀器有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品: 儀器儀表
化學(xué)氣相沉積CVD備件-HORIBA氣體流量控制器SEC-Z543KVX
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品名:氣體流量控制器(舊)
產(chǎn)地:日本產(chǎn)
用途:安裝在氣相沉積設(shè)備中,自動(dòng)調(diào)節(jié)和控制氣體流量
原理:采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測(cè)量氣體的質(zhì)量流量。將傳感器加熱電橋測(cè)得的流量信號(hào)送入放大器放大,放大后的流量檢測(cè)電壓與設(shè)定電壓進(jìn)行比較,再將差值信號(hào)放大后去控制調(diào)節(jié)閥門(mén),閉環(huán)控制流過(guò)通道的流量使之與設(shè)定的流量相等,便實(shí)現(xiàn)了質(zhì)量流量控制器的功能
功能:安裝在氣相沉積設(shè)備中,自動(dòng)調(diào)節(jié)和控制用于控制氣體流量
品牌:HORIBA
型號(hào):SEC-Z543KVX_N2:120SLM