緊湊型過程監控器Transpector CPM 3美國INFICON
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緊湊型過程監控器Transpector-CPM-3美國INFICON

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產品名稱 緊湊型過程監控器
品牌 INFICON
產地 美國
型號 Transpector CPM 3
是否出口
是否定制
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加工定制
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商品介紹

產品名稱:INFICON緊湊型過程監控器(Transpector CPM 3) 


品牌:美國INFICON


產地:美國


型號:Transpector CPM 3




快速、現場就緒過程監測系統
性能、可靠性和通用性

十多年來,INFICON Transpector CPM 一直是半導體行業市場**的殘余氣體分析儀 (RGA) 過程監測系統。現在,Transpector CPM 3 通過集成經實踐驗證的泵送和進口系統與新型傳感器和電子元件,達到業內**的測量速度和靈敏度。Transpector CPM 3 是新型和現有半導體過程(例如,ALD、CVD、PVD 和蝕刻)的理想 RGA 過程監控器。

Transpector CPM 3 通過以下特性為合作伙伴提供經實踐證實的投資回報率:

業內**的測量技術
穩健的適應性架構
易于維護
出色的產品支持




美國INFICON緊湊型過程監控器(Transpector CPM 3) 功能

ALD、蝕刻、CVD 和 300 mm 除氣殘余氣體分析儀 — 實現實時過程監測和分析
ALD 就緒,測量速度為每點 1.8 ms(每秒 555 點)
在大多數苛刻 CVD 和蝕刻應用中,展現出經實踐驗證的耐久性和可靠性
應用集成 — Transpector CPM 集成 FabGuard 軟件,由 INFICON **應用專家提供支持,是一款強大的過程監測與



診斷工具

緊湊尺寸 — 允許輕松集成到半導體生產設備
Hexblock? 含三個壓力進口并減少表面積,以**小化表面反應時間和響應時間
電容隔膜計 (CDG) — CDG 允許用戶監測過程壓力,并自動保護系統不出現壓力偏移
自動校準 — 確保長期數據穩定性和精度,以便進行各傳感器和工具的腔室匹配

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公司名稱 河北恒儀電子科技有限公司
聯系賣家 馬經理 (QQ:2044339890)
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地址 河北省保定市
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