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?產品介紹

探針臺又稱探針測試臺，主要用途是為半導體芯片的電參數測試提供一個測試平臺，探針臺可吸附多種規格芯片，并提供多個可調測試針以及探針座，配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數檢測。適用于對材料、芯片等進行科研實驗分析，抽查測試等用途。

技術優勢

模塊化設計，可以搭建不同構件完成不同測試

探針臺整體位移分辨率3μm，樣品XYZR四維調節    

兼容多種光學顯微鏡，可以引入光路，完成光電mapping測試

兼容高倍率電子顯微鏡/體式顯微鏡，可360°旋轉和微調升降

漏電流精度：10pA/100fA（屏蔽箱內）

探針采用進口交叉滾珠導軌，線性移動，無回程差設計

1微米以上電極/PAD使用

加寬探針架，可以放置6個DC探針座/4個RF探針座

全系列搭配顯微鏡XY精密移動功能，可以選配多種位移行程以及驅動形式

模塊介紹及參數

通用參數

4英寸

110×110mm

3μm

270倍高清（體式顯微鏡）

100fA（KEITHLET2636B實測）

3μm（可升級1μm/0.5μm）

25×25mm

BNC/三同軸接口

可以引出背電極

標配3個

產品示意圖

應用領域：

半導體材料光電檢測、功率器件測試、MEMS測試、PCB測試、液晶面板測試、測量表面電阻率測試、精密儀器生產檢測、航空航天實驗等

實驗附件及常規測試步驟：

光學隔振平臺(臺面>600mm*600mm)、一臺計算機(標準VGA接口和USB接口)、吉時利2400數字源表（含軟件）等。

測試時連接探針臺和數字源表，探針接被測物體，通過顯微鏡觀察確定兩根探針是否緊貼被測物表面，待連接導通后打開源表軟件，選好參數即可出該觸點的I-V性能曲線。

譜量光電可根據客戶實際應用需求，定制配套探針臺系統，以達更好的測試效果及更高的性價比，具體信息可聯系詳詢。