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北京瑞邦精控科技有限公司
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店齡1年 · 
企業(yè)認(rèn)證 · 
北京市順義區(qū) 
北京瑞邦精控科技有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品： 氣浮位移臺(tái)
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瑞邦精控QFHDS-XY系列平面式氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)
價(jià)格
訂貨量(臺(tái))
面議
≥1
店鋪主推品 熱銷潛力款
聯(lián)系人 王欣悅 
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發(fā)貨地 北京市順義區(qū)
在線客服
商品參數(shù)
|
商品介紹
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聯(lián)系方式
品牌 瑞邦精控
型號(hào) QFHDS-XY
工作范圍 納米級(jí)
是否進(jìn)口 否
品類 氣浮
商品介紹
產(chǎn)品特點(diǎn)
l ? 氣浮導(dǎo)軌，超高性能精度 ? 重復(fù)定位精度±15nm（Sic版）
l ? 平面式氣浮結(jié)構(gòu)，減小系統(tǒng)誤差影響 ? 直線度優(yōu)于1μm
l ? 高速，快速的整定時(shí)間 ? 可選光柵或激光尺位置反饋
l ? 龍門式雙驅(qū)結(jié)構(gòu)，承載能力強(qiáng) ? 優(yōu)化后的線纜管理系統(tǒng)
應(yīng)用領(lǐng)域
QFHDS系列平面式氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)，采用有限元分析優(yōu)化的氣浮軸承補(bǔ)償設(shè)計(jì)技術(shù)，提高精度的同時(shí)，也提高動(dòng)態(tài)性能，用于晶圓加工及檢測(cè)、大尺寸飛秒激光加工、測(cè)試測(cè)量等行業(yè)。
結(jié)構(gòu)特點(diǎn)
QFHDS系列龍門平面氣浮采用瑞邦精控獨(dú)創(chuàng)技術(shù)，小孔節(jié)流和多孔氣浮相結(jié)合的方式，極大提高系統(tǒng)的剛度和穩(wěn)定性。平面式氣浮結(jié)構(gòu)，使XY軸運(yùn)動(dòng)結(jié)構(gòu)共面，反饋傳感器在同一個(gè)水平面，相當(dāng)于單軸運(yùn)動(dòng)，減小因疊層引起的阿貝誤差。此結(jié)構(gòu)具有高速響應(yīng)頻率及位置穩(wěn)定性，開發(fā)的獨(dú)特氣浮結(jié)構(gòu)，提高了剛性和負(fù)載能力，以滿足高動(dòng)態(tài)響應(yīng)的要求，可實(shí)現(xiàn)
高速運(yùn)動(dòng)和快速的位置整定。
精度性能
采用無(wú)鐵芯直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，交叉解耦控制算法保證雙驅(qū)軸的運(yùn)動(dòng)同步，氣浮導(dǎo)軌實(shí)現(xiàn)無(wú)摩擦、無(wú)振動(dòng)地平滑移動(dòng)，重復(fù)定位精度±50nm，直線度±0.1μm，平面度±0.2μm，Pitch Yaw ±0.5arc sec滿足超精密加工或測(cè)量，由于非接觸式結(jié)構(gòu)，伺服反饋的跟隨誤差有了質(zhì)地提升，定位精度和重復(fù)精度得到了顯著提高。
線纜管理
使用高質(zhì)量的無(wú)塵線纜，優(yōu)化管線彎曲半徑，防止動(dòng)作過程中線纜的拉伸影響到氣浮臺(tái)的性能，更適合在潔凈車間內(nèi)使用。
定制化
根據(jù)應(yīng)用可安裝轉(zhuǎn)臺(tái)或晶圓裝卸用的夾具。氣浮導(dǎo)軌可定制陶瓷材質(zhì)，重復(fù)定位精度±15nm。可選用激光尺或激光干涉儀閉環(huán)反饋，提升精度性能。可提供抱閘功能，適合高抖動(dòng)要求的應(yīng)用。
規(guī)格指標(biāo)
單位 | QFHDS-300-300 | QFHDS-500-500 | QFHDS-800-800 | |||||
軸系 | — | X | Y | X | Y | X | Y | |
行程 | mm | 300 | 300 | 500 | 500 | 800 | 800 | |
補(bǔ)償后定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.1 | ±0.25 | ±0.25 | |||
標(biāo)準(zhǔn)值 | ±0.2 | ±0.5 | ±0.5 | |||||
雙向重復(fù)定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.05 | ±0.075 | ±0.1 | |||
標(biāo)準(zhǔn)值 | ±0.1 | ±0.15 | ±0.15 | |||||
直線度 (2) | Plus (1) | μm | ±0.05 | ±0.1 | ±0.2 | |||
標(biāo)準(zhǔn)值 | ±0.5 | ±1 | ±1 | |||||
平面度 (2) | Plus (1) | μm | ±0.2 | ±0.25 | ±0.3 | |||
標(biāo)準(zhǔn)值 | ±0.5 | ±1 | ±1 | |||||
Pitch Roll Yaw (2) | Plus (1) | arc sec | ±0.5 | ±1 | ±1 | |||
標(biāo)準(zhǔn)值 | ±1 | ±1.5 | ±1.5 | |||||
正交性 | Plus (1) | arc sec | 2 | |||||
標(biāo)準(zhǔn)值 | 5 | |||||||
電子分辨率 (3) | nm | 0.3 或 5（選配） | ||||||
最大速度 (空載) (4) | m/s | 1 | ||||||
最大加速度 (空載) (4) | m/s2 | 5,（10, 20, 30 定制） | ||||||
最大負(fù)載 | kg | 50 | ||||||
注：
以上為單軸精度指標(biāo)，在潔凈間內(nèi)測(cè)試，溫度20℃±0.5℃，濕度40%~60%RH，振動(dòng)等級(jí)VC-F，測(cè)試點(diǎn)在負(fù)載板上25mm處，測(cè)試速度10mm/s，Renishaw激光干涉儀測(cè)量及自帶分析方法，多軸系統(tǒng)的精度測(cè)試與負(fù)載尺寸及測(cè)試點(diǎn)高度有關(guān)，環(huán)境的變化會(huì)導(dǎo)致精度變化，如要求非標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試，請(qǐng)咨詢我們。
1. Plus值為高精度指標(biāo)，是標(biāo)準(zhǔn)值的升級(jí)版。
2. 取決于平臺(tái)安裝表面的平面度。
3. 電子分辨率取決光柵尺及控制器的細(xì)分倍數(shù)。
4. 空載條件下指標(biāo)，最大速度和加速度取決于負(fù)載大小。
聯(lián)系方式
公司名稱 北京瑞邦精控科技有限公司
聯(lián)系賣家 王欣悅 
（QQ：490748999）
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地址 北京市順義區(qū)
聯(lián)系二維碼
王欣悅
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