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密析爾ES20高純氣露點變送器

在很多超純氣應用，諸如半導體工業中，氣體中殘余的濕氣對于過程處理的正常運作至關重要。一直以來，對濕氣的持續追蹤測量都是個難點，需要用到復雜的濕度分析儀或者昂貴的分析技術。然而密析爾儀表目前則向市場推出了簡單的、經濟的、相當有效的方案，用來在線測量露點值，下限低至驚人的-120°C (相當于不到 1 ppbV)。

Pura 變送器是基于密析爾儀表多年在阻抗露點傳感器生產和校驗的經驗，結合標準工業化的材料和制造流程，打造出的個適用于半導體制造行業和超純氣體應用的位變送器。

亮點

測量下限 -120°C 露點 (1 ppbV)

測量穩定，重復性好

高度集成的采樣裝置

模擬和數字輸出

安裝簡便

VCR 過程接口

設計緊湊小巧

顯示/報警單元可選

密析爾ES20高純氣露點變送器

傳感器
傳感器類型	密析爾陶瓷濕度傳感器
量程	-120 ~ -40°C 露點 (校驗到 -100 ~ -40°C)
精度	±1°C -40 ~ -60°C; ±2°C -61 ~ -100°C; ±4°C -101 ~ -120°C (估算值)
分辨率	0.1°C -40 ~ -79.9°C; 1°C -80 ~ -100°C; 1 ~ 3°C -100 ~ -120°C
壓力	低 10-9 torr; 24 MPa
氣體流量	1 ~ 5 Nl/min
電氣
電源	通常 24 V DC, 低10 V ~ 28 V , 電流 25 mA
輸出	4-20 mA 輸出, 對應范圍可由專用軟件調整, 調整量程從 1 ~ 80°C (標配提供) 負載 = 100 Ω + 50 Ω x (V 電源 -8)
輸出出錯狀態	標準輸出出錯信息如下: 23 mA = 傳感器故障; 20 mA = 超上限; 4 mA = 超下限
機械性能
傳感器套筒	不銹鋼, 0.1-0.2 Ra μm 電鍍內拋
氣路連接端口	Premium 或 OEM 型: ?" m VCR 接口 Pura Sensor 型: ?" m VCR 接口
安裝配置	Premium 或 OEM 型: 120.00mm 長, 氣路端口的端面密封. 無需預留管路空隙 底座上有 2 個 M4 x 0.7, 7mm 深的安裝孔, 斜對面橫豎間距均為 20 x 20mm Pura Sensor 型: 適用于用戶提供的 ?" VCR 端口中
尺寸	Premium 或 OEM 型: 120 x 35 x 150mm Pura Sensor 型: 132 x 35mm
重量	Premium 或 OEM 型: 450g Pura Sensor 型: 180g
包裝	Pura: 雙層包裝, 惰性氣體填充密封 Pura OEM 或 Pura Sensor 型: 單層包裝 所有選配件: 獨立包裝運輸 Sensor 型在傳感芯片端自帶保護套,用以運輸及操作

在氣體和液體中，測量露點、水分含量和微水含量一系列密析爾探頭。范圍從極干的環境下 (-120°Cdp) 到高濕度環境下測量，露點達到+60°C，我們的探頭可在多種領域中應用，進行可靠的測量。我們的本安型和隔爆/防火型傳感器適用于全球多種危險場合。

密析爾儀表在設計、制造，校驗濕度傳感器方面有超過40年的經驗，擁有一系列的技術。我們不斷投資研究項目，以便提高我們濕度傳感器的技術。其中包括一系列廣泛使用，經過現場驗證的露點傳感器。