山東聯(lián)超電子設(shè)備有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品: 超聲波清洗機(jī), 硅片清洗機(jī), 甩干機(jī), 硅片甩干機(jī), 石英管清洗機(jī), RCA清洗機(jī)
山東聯(lián)超RCA清洗機(jī)半導(dǎo)體專(zhuān)用設(shè)備
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吳總
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所在地區(qū)
山東省濟(jì)寧市
主營(yíng)產(chǎn)品
超聲波清洗機(jī), 硅片清洗機(jī), 甩干機(jī), 硅片甩干機(jī), 石英管清洗機(jī), RCA清洗機(jī)
RCA清洗機(jī)是 為帶有腐蝕性清洗準(zhǔn)備的,它是由石英加熱缸,塑料槽(NPP)組合而成的一套完整設(shè)備。
本設(shè)備由2只石英加熱缸,兩套溫度控制系統(tǒng)(石英缸數(shù)量由客戶工藝定),兩個(gè)快速噴淋、排水槽(QDR),兩套噴淋、排水控制系統(tǒng),一個(gè)氫氟酸槽,一個(gè)一階梯溢流槽,一個(gè)三階梯溢流槽,有兩套吸酸排放器等功能。
主要特點(diǎn):最大可清洗片子尺寸:¢300mm 槽體數(shù)量可根據(jù)用戶工藝要求配置
石英缸加熱可達(dá)200℃ 快速排放槽(QDR)排放次數(shù)可設(shè)定
槽體結(jié)構(gòu)可選單片盒或者雙片盒結(jié)構(gòu) 傳動(dòng)分手動(dòng)或自動(dòng)
可選循環(huán)系統(tǒng)功能 具有故障提示,報(bào)警等功能
主要技術(shù)指標(biāo):客戶用水壓力:0.25~0.3Mpa 排水口:¢60mm
酸液排放口:1/2PFA管 氮?dú)鈮毫Γ?.25~0.3Mpa
氮?dú)饨涌诠軓?/8PE管 壓縮空氣壓力:0.25~0.3Mpa
壓縮空氣接口3/8PE管 電源 AC380V