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催化燃燒廢氣處理設備工作過程可分為二個階段，活性炭吸附階段和活性炭脫附再生階段，二個階段的工作過程如下：

① 活性炭吸附過程：

車間排出的廢氣經管道進入活性炭吸附床, 有機廢氣穿過活性碳時，廢氣中的有機成 份被吸引到活性 碳的微孔中并濃集保留其中，其它氣體穿過活性碳后經風機排空。

② 活性炭再生過程：

活性炭使用一段時間，吸附了一定量的溶劑后，會降低或失去吸附能力，此時活性炭需脫附再生，再生后活性炭重新恢復吸附功能可繼續使用。再生時，啟動催化燃燒裝置予熱室電源，將空氣予熱，予熱后的氣體送入吸附箱，箱中活性炭受熱后，活性炭吸附的溶劑揮發出來，溶劑經風機送入催化燃燒室燃燒，燃燒后分解生成CO2和H2O蒸汽等熱空氣，熱空氣一部分回到活性炭吸附箱繼續給活性炭加熱，叧一部分排空，熱空氣內部循環多次活性碳即可得到再生。