涂膜機(jī)-VTC-200P型-真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)
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涂膜機(jī) VTC-200P型 真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī) 真空旋轉(zhuǎn)鍍膜機(jī)
儀器概述:
VTC-200P型 真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)適用于半導(dǎo)體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機(jī)可用于強(qiáng)酸、強(qiáng)堿性涂覆溶液的涂膜制備。
VTC-200P型真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)參數(shù):
1、功率:350W
2、轉(zhuǎn)速:500rpm-6000rpm
3、時(shí)間:1s-60s
4、產(chǎn)品規(guī)格:尺寸:?250mm×290mm;
5、重量:25kg
VTC-200P型真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)特點(diǎn):
1、設(shè)有12組程序,每組包含6個(gè)運(yùn)行階段,每段增減速率設(shè)置范圍:100—2000rpm/s,每段時(shí)間范圍:0—60s。
2、真空吸附方式固定樣件,操作簡(jiǎn)便。
3、吸盤真空度可以達(dá)到-0.08MPa。
4、使用定位工具可將樣件很容易地放在中心位置,以減少偏心而造成的震動(dòng)或飛片。
5、根據(jù)樣件規(guī)格可以配用不同的吸盤,且更換方便簡(jiǎn)單。
6、電機(jī)采用24V直流無(wú)刷電機(jī),無(wú)級(jí)調(diào)速,可靠性高,適應(yīng)性強(qiáng),維修與保養(yǎng)簡(jiǎn)單,噪音低,震動(dòng)小,運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn),啟動(dòng)快速穩(wěn)定,加速后運(yùn)行平穩(wěn),可以保證涂層厚度的一致性和均勻性。
7、本機(jī)可置于手套箱內(nèi)使用,但控制部分與真空泵需置于箱外。
8、可在惰性氣體氣氛(如Ar、N2)下進(jìn)行涂層。
9、采用無(wú)油雙杠真空泵,體積小巧、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、操作容易、維護(hù)方便、不會(huì)污染環(huán)境等優(yōu)點(diǎn)。
10、腔體通體采用聚丙烯材質(zhì),使用壽命更長(zhǎng),提高耐化學(xué)腐蝕性和優(yōu)異的抗應(yīng)力開(kāi)裂性能。
11、全英文操作系統(tǒng)。
12、具有開(kāi)蓋保護(hù)功能,當(dāng)涂膜過(guò)程中或涂膜結(jié)束時(shí)打開(kāi)上蓋后機(jī)器立刻迅速減速直到停止
13、控制器采用單控制箱,液晶顯示數(shù)值,更直觀可靠。